| 設備名 |
廠牌 (型號) |
精度 (μm) |
數量 |
| 非球面測量儀 |
PANASONIC
(UA3P-300、3000、400T) |
0.01 |
8 |
| 三次元測量儀 |
ZEISS、MITUTOYO |
0.28~1.7 |
4 |
| 3D表面輪廓儀 |
ZYGO
(Compass RT、NewView8000) |
0.1 |
2 |
| 自動影像量測 |
MITUTOYO (Hyper-QV) |
0.8 |
5 |
| 真圓度測量儀 |
Taylor Hobson (TR585HS)
ACCRETECH |
0.1 |
2 |
| 偏心測量儀 |
TRIOPTICS |
0.1 |
2 |
| 光學測微計 |
KEYENCE |
0.1 |
5 |
| 光學測微計 |
MITUTOYO |
0.1 |
2 |
| 工具顯微鏡 |
NIKON (MM-400/L) |
1 |
6 |